光學輪廓儀是一種基于白光干涉原理而研發生產的高精度測量儀器，它廣泛應用于多個領域，以非接觸、無損的方式對精密器件表面進行納米級測量。其通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。光源發出的光經過擴束準直后，被分光棱鏡分成兩束光：一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射。這兩束反射光最終匯聚并發生干涉，形成干涉條紋。顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
光學輪廓儀的主要結構：
1、光源：
使用兩個LED光源，平均波長為550nm，這種光源具有長壽命且不需要更換。
LED光源能夠提供足夠的亮度，使光學系統在獲取樣品表面精細三維形貌的同時得到樣品的真實顏色信息。
2、光學系統：
光學放大倍率范圍為50X到2100X，總放大倍率為630X到25000X。
基于精密的照明和光學設計，通過在光路中增加高精度聚焦模塊，確保系統能夠精確探測到各點上焦面的位置。
系統設計不受樣品表面粗糙度和反射率的限制，能夠同時測量不同反射率（從小于0.5%到大于85%）的樣品。
3、圖像傳感器：
使用彩色CCD相機作為圖像傳感器，分辨率不小于2448×2048像素。
CCD相機負責捕捉樣品表面的高質量圖像，以便進行后續的數據分析和處理。
4、載物臺：
載物臺能夠在XY方向自動移動，范圍為150mm×150mm。
自動載物臺的設計使得測量過程更加便捷和準確，可以對樣品的不同區域進行快速定位和檢測。
5、數據處理系統：
配備先進的數據處理軟件，能夠對采集到的圖像數據進行處理和分析。
系統軟件支持多種功能，包括自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；以及校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等數據處理功能。
提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，使用戶能夠快速獲得樣品表面的粗糙度、幾何輪廓等關鍵參數。
